TY  - RPRT
TI  - Direct fabrication of three-dimensional buried conductive channels in single crystal diamond with ion microbeam induced graphitization
AU  - P. Olivero
AU  - G. Amato
AU  - F. Bellotti
AU  - O. Budnyk
AU  - E. Colombo
AU  - M. Jaksic
AU  - A. Lo Giudice
AU  - C. Manfredotti
AU  - Z. Pastuovic
AU  - F. Picollo
AU  - N. Skukan
AU  - M. Vannoni
AU  - E. Vittone
PY  - 2016
DO  - 10.1016/j.diamond.2008.10.068
UR  - https://arxiv.org/abs/1608.07427
ID  - 1608.07427
ER  -