TY  - RPRT
TI  - Fabrication of Ultrathin Single-Crystal Diamond Membranes
AU  - B. A. Fairchild
AU  - P. Olivero
AU  - S. Rubanov
AU  - A. D. Greentree
AU  - F. Waldermann
AU  - R. A. Taylor
AU  - I. Walmsley
AU  - J. M. Smith
AU  - S. Huntington
AU  - B. C. Gibson
AU  - D. N. Jamieson
AU  - S. Prawer
PY  - 2016
DO  - 10.1002/adma.200801460
UR  - https://arxiv.org/abs/1608.08914
ID  - 1608.08914
ER  -