TY  - RPRT
TI  - Semiconductor characterization by scanning ion beam induced charge (IBIC) microscopy
AU  - E. Vittone
AU  - Z. Pastuovic
AU  - P. Olivero
AU  - C. Manfredotti
AU  - M. Jaksic
AU  - A. Lo Giudice
AU  - F. Fizzotti
AU  - E. Colombo
PY  - 2016
DO  - 10.1016/j.nimb.2007.12.083
UR  - https://arxiv.org/abs/1609.00236
ID  - 1609.00236
ER  -