TY  - RPRT
TI  - Reactive magnetron sputter deposition of superconducting niobium titanium nitride thin films with different target sizes
AU  - B. G. C. Bos
AU  - D. J. Thoen
AU  - E. A. F. Haalebos
AU  - P. M. L. Gimbel
AU  - T. M. Klapwijk
AU  - J. J. A. Baselmans
AU  - A. Endo
PY  - 2016
DO  - 10.1109/tasc.2016.2631939
UR  - https://arxiv.org/abs/1609.01265
ID  - 1609.01265
ER  -