TY  - RPRT
TI  - Superconducting NbTiN Thin Films with Highly Uniform Properties over a 100 mm diameter Wafer
AU  - D. J. Thoen
AU  - B. G. C. Bos
AU  - E. A. F. Haalebos
AU  - T. M. Klapwijk
AU  - J. J. A. Baselmans
AU  - A. Endo
PY  - 2016
DO  - 10.1109/tasc.2016.2631948
UR  - https://arxiv.org/abs/1609.01526
ID  - 1609.01526
ER  -