TY  - RPRT
TI  - High-efficiency generation of nanoscale single silicon vacancy defect array in silicon carbide
AU  - Junfeng Wang
AU  - Yu Zhou
AU  - Xiaoming Zhang
AU  - Fucai Liu
AU  - Yan Li
AU  - Ke Li
AU  - Zheng Liu
AU  - Guanzhong Wang
AU  - Weibo Gao
PY  - 2016
DO  - 10.1103/physrevapplied.7.064021
UR  - https://arxiv.org/abs/1610.03978
ID  - 1610.03978
ER  -