TY  - RPRT
TI  - Diffusion of Hydrogen in Proton Implanted Silicon: Dependence on the Hydrogen Concentration
AU  - Martin Faccinelli
AU  - Stefan Kirnstoetter
AU  - Moriz Jelinek
AU  - Thomas Wuebben
AU  - Johannes G. Laven
AU  - Hans-Joachim Schulze
AU  - Peter Hadley
PY  - 2016
UR  - https://arxiv.org/abs/1611.04312
ID  - 1611.04312
ER  -