TY  - RPRT
TI  - Study of ZrO2 Thin Films Deposited at Glancing Angle by Magnetron Sputtering under Varying Substrate Rotation
AU  - R. B. Tokas
AU  - S. Jena
AU  - J. S. Mishal
AU  - K. Divakar Rao
AU  - S. R. Polaki
AU  - C. Pratap
AU  - D. V. Udupa
AU  - S. Thakur
AU  - Sanjiv Kumar
AU  - N. K. Sahoo
PY  - 2016
UR  - https://arxiv.org/abs/1612.02627
ID  - 1612.02627
ER  -