TY  - RPRT
TI  - Quantitative depth profiling of Si1-xGex structures by time-of-flight secondary ion mass spectrometry and secondary neutral mass spectrometry
AU  - M. N. Drozdov
AU  - Y. N. Drozdov
AU  - A. Csik
AU  - A. V. Novikov
AU  - K. Vad
AU  - P. A. Yunin
AU  - D. V. Yurasov
AU  - S. F. Belykh
AU  - G. P. Gololobov
AU  - D. V. Suvorov
AU  - A. Tolstogouzov
PY  - 2017
DO  - 10.1016/j.tsf.2016.03.049
UR  - https://arxiv.org/abs/1701.01612
ID  - 1701.01612
ER  -