TY - RPRT TI - Nanoscale Solid State Batteries Enabled By Thermal Atomic Layer Deposition of a Lithium Polyphosphazene Solid State Electrolyte AU - Alexander J. Pearse AU - Thomas E. Schmitt AU - Elliot J. Fuller AU - Farid El-Gabaly AU - Chuan-Fu Lin AU - Konstantinos Gerasopoulos AU - Alexander C. Kozen AU - A. Alec Talin AU - Gary Rubloff AU - Keith E. Gregorcyzck PY - 2017 DO - 10.1021/acs.chemmater.7b00805 UR - https://arxiv.org/abs/1702.04009 ID - 1702.04009 ER -