TY  - RPRT
TI  - Scalable fabrication of single silicon vacancy defect arrays in silicon carbide using focused ion beam
AU  - Junfeng Wang
AU  - Xiaoming Zhang
AU  - Yu Zhou
AU  - Ke Li
AU  - Ziyu Wang
AU  - Phani Peddibhotla
AU  - Fucai Liu
AU  - Sven Bauerdick
AU  - Axel Rudzinski
AU  - Zheng Liu
AU  - Weibo Gao
PY  - 2017
DO  - 10.1021/acsphotonics.7b00230
UR  - https://arxiv.org/abs/1703.04479
ID  - 1703.04479
ER  -