TY  - RPRT
TI  - Anisotropic Etching of Graphite and Graphene in a Remote Hydrogen Plasma
AU  - Dorothee Hug
AU  - Simon Zihlmann
AU  - Mirko K. Rehmann
AU  - Yemliha B. Kalyoncu
AU  - Timothy N. Camenzind
AU  - Laurent Marot
AU  - Kenji Watanabe
AU  - Takashi Taniguchi
AU  - Dominik M. Zumbühl
PY  - 2017
DO  - 10.1038/s41699-017-0021-7
UR  - https://arxiv.org/abs/1703.04762
ID  - 1703.04762
ER  -