TY  - RPRT
TI  - A self-aligned nano-fabrication process for vertical NbN-MgO-NbN Josephson junctions
AU  - A. Grimm
AU  - S. Jebari
AU  - D. Hazra
AU  - F. Blanchet
AU  - F. Gustavo
AU  - J. -L. Thomassin
AU  - M. Hofheinz
PY  - 2017
DO  - 10.1088/1361-6668/aa8007
UR  - https://arxiv.org/abs/1705.05608
ID  - 1705.05608
ER  -