TY - RPRT TI - Characterization and Reduction of Capacitive Loss Induced by Sub-Micron Josephson Junction Fabrication in Superconducting Qubits AU - A. Dunsworth AU - A. Megrant AU - C. Quintana AU - Zijun Chen AU - R. Barends AU - B. Burkett AU - B. Foxen AU - Yu Chen AU - B. Chiaro AU - A. Fowler AU - R. Graff AU - E. Jeffrey AU - J. Kelly AU - E. Lucero AU - J. Y. Mutus AU - M. Neeley AU - C. Neill AU - P. Roushan AU - D. Sank AU - A. Vainsencher AU - J. Wenner AU - T. C. White AU - John M. Martinis PY - 2017 DO - 10.1063/1.4993577 UR - https://arxiv.org/abs/1706.00879 ID - 1706.00879 ER -