TY - RPRT TI - Enhancement of superconductivity in NbN nanowires by negative electron-beam lithography with positive resist AU - I. Charaev AU - T. Silbernagel AU - B. Bachowsky AU - A. Kuzmin AU - S. Doerner AU - K. Ilin AU - A. Semenov AU - D. Roditchev AU - D. Yu. Vodolazov AU - M. Siegel PY - 2017 DO - 10.1063/1.4986416 UR - https://arxiv.org/abs/1706.01289 ID - 1706.01289 ER -