TY  - RPRT
TI  - Correlated evolution of structure and mechanical loss of a sputtered silica film
AU  - Massimo Granata
AU  - Elodie Coillet
AU  - Valérie Martinez
AU  - Vincent Dolique
AU  - Alex Amato
AU  - Maurizio Canepa
AU  - Jérémie Margueritat
AU  - Christine Martinet
AU  - Alain Mermet
AU  - Christophe Michel
AU  - Laurent Pinard
AU  - Benoît Sassolas
AU  - Gianpietro Cagnoli
PY  - 2017
DO  - 10.1103/physrevmaterials.2.053607
UR  - https://arxiv.org/abs/1706.02928
ID  - 1706.02928
ER  -