TY  - RPRT
TI  - Effect of oxygen plasma on nanomechanical silicon nitride resonators
AU  - Niklas Luhmann
AU  - Artur Jachimowicz
AU  - Johannes Schalko
AU  - Pedram Sadeghi
AU  - Markus Sauer
AU  - Annette Foelske-Schmitz
AU  - Silvan Schmid
PY  - 2017
DO  - 10.1063/1.4989775
UR  - https://arxiv.org/abs/1706.02957
ID  - 1706.02957
ER  -