TY - RPRT TI - 3D integrated superconducting qubits AU - D. Rosenberg AU - D. Kim AU - R. Das AU - D. Yost AU - S. Gustavsson AU - D. Hover AU - P. Krantz AU - A. Melville AU - L. Racz AU - G. O. Samach AU - S. J. Weber AU - F. Yan AU - J. Yoder AU - A. J. Kerman AU - W. D. Oliver PY - 2017 DO - 10.1038/s41534-017-0044-0 UR - https://arxiv.org/abs/1706.04116 ID - 1706.04116 ER -