TY  - RPRT
TI  - Side-wall spacer passivated sub-um Josephson junction fabrication process
AU  - Leif Grönberg
AU  - Mikko Kiviranta
AU  - Visa Vesterinen
AU  - Janne Lehtinen
AU  - Slawomir Simbierowicz
AU  - Juho Luomahaara
AU  - Mika Prunnila
AU  - Juha Hassel
PY  - 2018
DO  - 10.1088/1361-6668/aa9411
UR  - https://arxiv.org/abs/1706.06397
ID  - 1706.06397
ER  -