TY  - RPRT
TI  - An argon ion beam milling process for native $\text{AlO}_\text{x}$ layers enabling coherent superconducting contacts
AU  - Lukas Grünhaupt
AU  - Uwe von Lüpke
AU  - Daria Gusenkova
AU  - Sebastian T. Skacel
AU  - Nataliya Maleeva
AU  - Steffen Schlör
AU  - Alexander Bilmes
AU  - Hannes Rotzinger
AU  - Alexey V. Ustinov
AU  - Martin Weides
AU  - Ioan M. Pop
PY  - 2017
DO  - 10.1063/1.4990491
UR  - https://arxiv.org/abs/1706.06424
ID  - 1706.06424
ER  -