TY  - RPRT
TI  - Quantifying parameter uncertainties in optical scatterometry using Bayesian inversion
AU  - M. Hammerschmidt
AU  - M. Weiser
AU  - X. Garcia Santiago
AU  - L. Zschiedrich
AU  - B. Bodermann
AU  - S. Burger
PY  - 2017
DO  - 10.1117/12.2270596
UR  - https://arxiv.org/abs/1707.08467
ID  - 1707.08467
ER  -