TY  - RPRT
TI  - All-optical lithography process for contacting atomically-precise devices
AU  - Daniel R. Ward
AU  - Michael T. Marshall
AU  - DeAnna M. Campbell
AU  - Tzu-Ming Lu
AU  - Justin C. Koepke
AU  - David A. Scrymgeour
AU  - Ezra Bussmann
AU  - Shashank Misra
PY  - 2017
DO  - 10.1063/1.4998639
UR  - https://arxiv.org/abs/1708.05411
ID  - 1708.05411
ER  -