TY  - RPRT
TI  - Through-membrane electron-beam lithography for ultrathin membrane applications
AU  - M. Neklyudova
AU  - A. K. Erdamar
AU  - L. Vicarelli
AU  - S. J. Heerema
AU  - T. Rehfeldt
AU  - G. Pandraud
AU  - Z. Kolahdouz
AU  - C. Dekker
AU  - H. W. Zandbergen
PY  - 2017
DO  - 10.1063/1.4986991
UR  - https://arxiv.org/abs/1709.04156
ID  - 1709.04156
ER  -