TY  - RPRT
TI  - A fabrication guide for planar silicon quantum dot heterostructures
AU  - Paul C. Spruijtenburg
AU  - Sergey V. Amitonov
AU  - Wilfred G. van der Wiel
AU  - Floris A. Zwanenburg
PY  - 2018
DO  - 10.1088/1361-6528/aaabf5
UR  - https://arxiv.org/abs/1709.08866
ID  - 1709.08866
ER  -