TY  - RPRT
TI  - Atomic-layer doping of SiGe heterostructures for atomic-precision donor devices
AU  - E. Bussmann
AU  - John King Gamble
AU  - J. C. Koepke
AU  - D. Laroche
AU  - S. H. Huang
AU  - Y. Chuang
AU  - J. -Y. Li
AU  - C. W. Liu
AU  - B. S. Swartzentruber
AU  - M. P. Lilly
AU  - M. S. Carroll
AU  - T. -M. Lu
PY  - 2017
DO  - 10.1103/physrevmaterials.2.066004
UR  - https://arxiv.org/abs/1710.06449
ID  - 1710.06449
ER  -