TY  - RPRT
TI  - Ion Implantation for Deterministic Single Atom Devices
AU  - J. L. Pacheco
AU  - M. Singh
AU  - D. L. Perry
AU  - J. R. Wendt
AU  - G. Ten Eyck
AU  - R. P. Manginell
AU  - T. Pluym
AU  - D. R. Luhman
AU  - M. P. Lilly
AU  - M. S. Carroll
AU  - E. Bielejec
PY  - 2017
DO  - 10.1063/1.5001520
UR  - https://arxiv.org/abs/1711.00792
ID  - 1711.00792
ER  -