TY  - RPRT
TI  - Experimental studies of thorium ions implantation from pulse laser plasma into thin silicon oxide layers
AU  - P. V. Borisyuk
AU  - E. V. Chubunova
AU  - Yu. Yu. Lebedinskii
AU  - E. V. Tkalya
AU  - O. S. Vasilyev
AU  - V. P. Yakovlev
AU  - E. Strugovshchikov
AU  - D. Mamedov
AU  - A. Pishtshev
AU  - S. Zh. Karazhanov
PY  - 2017
DO  - 10.1088/1612-202x/aaacf8
UR  - https://arxiv.org/abs/1711.03378
ID  - 1711.03378
ER  -