TY  - RPRT
TI  - Quantifying Atom-scale Dopant Movement and Electrical Activation in Si:P Monolayers
AU  - Xiqiao Wang
AU  - Joseph A. Hagmann
AU  - Pradeep Namboodiri
AU  - Jonathan Wyrick
AU  - Kai Li
AU  - Roy E. Murray
AU  - Alline Myers
AU  - Frederick Misenkosen
AU  - M. D. Stewart, Jr.
AU  - Curt A. Richter
AU  - Richard M. Silver
PY  - 2017
UR  - https://arxiv.org/abs/1711.03612
ID  - 1711.03612
ER  -