TY  - RPRT
TI  - Direct atomic fabrication and dopant positioning in Si using electron beams with active real time image-based feedback
AU  - Stephen Jesse
AU  - Bethany M. Hudak
AU  - Eva Zarkadoula
AU  - Jiaming Song
AU  - Artem Maksov
AU  - Miguel Fuentes-Cabrera
AU  - Panchapakesan Ganesh
AU  - Ivan Kravchenko
AU  - Paul C. Snijders
AU  - Andrew R. Lupini
AU  - Albina Borisevich
AU  - Sergei V. Kalinin
PY  - 2017
DO  - 10.1088/1361-6528/aabb79
UR  - https://arxiv.org/abs/1711.05810
ID  - 1711.05810
ER  -