TY  - RPRT
TI  - Impacts of Doping on Epitaxial Germanium Thin Film Quality and Si-Ge Interdiffusion
AU  - Guangnan Zhou
AU  - Kwang Hong Lee
AU  - Dalaver H. Anjum
AU  - Qiang Zhang
AU  - Xixiang Zhang
AU  - Chuan Seng Tan
AU  - Guangrui
AU  - Xia
PY  - 2017
UR  - https://arxiv.org/abs/1712.05468
ID  - 1712.05468
ER  -