TY  - RPRT
TI  - Mask aligner for ultrahigh vacuum with capacitive distance control
AU  - Priyamvada Bhaskar
AU  - Simon Mathioudakis
AU  - Tim Olschewski
AU  - Florian Muckel
AU  - Jan Raphael Bindel
AU  - Marco Pratzer
AU  - Marcus Liebmann
AU  - Markus Morgenstern
PY  - 2018
DO  - 10.1063/1.5022462
UR  - https://arxiv.org/abs/1801.02540
ID  - 1801.02540
ER  -