TY  - RPRT
TI  - Superconductor Electronics Fabrication Process with MoN$_x$ Kinetic Inductors and Self-Shunted Josephson Junctions
AU  - Sergey K. Tolpygo
AU  - Vladimir Bolkhovsky
AU  - D. E. Oates
AU  - R. Rastogi
AU  - S. Zarr
AU  - A. L. Day
AU  - T. J. Weir
AU  - Alex Wynn
AU  - L. M. Johnson
PY  - 2018
DO  - 10.1109/tasc.2018.2809442
UR  - https://arxiv.org/abs/1801.02659
ID  - 1801.02659
ER  -