TY - RPRT TI - Waferscale Electrostatic Quadrupole Array for Multiple Ion Beam Manipulation AU - K. B. Vinayakumar AU - A. Persaud AU - P. A. Seidl AU - Q. Ji AU - W. L. Waldron AU - T. Schenkel AU - S. Ardanuc AU - A. Lal PY - 2018 UR - https://arxiv.org/abs/1802.02622 ID - 1802.02622 ER -