TY  - RPRT
TI  - Advanced Fabrication of Single-crystal Diamond Membranes for Quantum Technologies
AU  - Michel Challier
AU  - Selda Sonusen
AU  - Arne Barfuss
AU  - Dominik Rohner
AU  - Daniel Riedel
AU  - Johannes Koelbl
AU  - Marc Ganzhorn
AU  - Patrick Appel
AU  - Patrick Maletinsky
AU  - Elke Neu
PY  - 2018
UR  - https://arxiv.org/abs/1802.08971
ID  - 1802.08971
ER  -