TY  - RPRT
TI  - Room temperature deposition of superconducting Niobium Nitride films by ion beam assisted sputtering
AU  - Tomas Polakovic
AU  - Sergi Lendinez
AU  - John E. Pearson
AU  - Axel Hoffmann
AU  - Volodymyr Yefremenko
AU  - Clarence L. Chang
AU  - Whitney Armstrong
AU  - John Arrington
AU  - Kawtar Hafidi
AU  - Goran Karapetrov
AU  - Valentine Novosad
PY  - 2018
DO  - 10.1063/1.5031904
UR  - https://arxiv.org/abs/1803.02417
ID  - 1803.02417
ER  -