TY  - RPRT
TI  - Multi frequency matching for voltage waveform tailoring
AU  - Frederik Schmidt
AU  - Julian Schulze
AU  - Erik Johnson
AU  - Jean-Paul Booth
AU  - Douglas Keil
AU  - David M. French
AU  - Jan Trieschmann
AU  - Thomas Mussenbrock
PY  - 2018
DO  - 10.1088/1361-6595/aad2cd
UR  - https://arxiv.org/abs/1804.10357
ID  - 1804.10357
ER  -