TY  - RPRT
TI  - Nanopore fabrication and characterization by helium ion microscopy
AU  - D. Emmrich
AU  - A. Beyer
AU  - A. Nadzeyka
AU  - S. Bauerdick
AU  - J. C. Meyer
AU  - J. Kotakoski
AU  - A. Gölzhäuser
PY  - 2018
DO  - 10.1063/1.4947277
UR  - https://arxiv.org/abs/1805.00292
ID  - 1805.00292
ER  -