TY  - RPRT
TI  - Fabrication of micro fluidic cavities using Si-to-glass anodic bonding
AU  - N. Zhelev
AU  - T. S. Abhilash
AU  - R. G. Bennett
AU  - E. N. Smith
AU  - B. Ilic
AU  - J. M. Parpia
AU  - L. V. Levitin
AU  - X. Rojas
AU  - A. Casey
AU  - J. Saunders
PY  - 2018
DO  - 10.1063/1.5031837
UR  - https://arxiv.org/abs/1805.00958
ID  - 1805.00958
ER  -