TY  - RPRT
TI  - Silicon Nitride MOMS Oscillator for Room Temperature Quantum Optomechanics
AU  - Enrico Serra
AU  - Bruno Morana
AU  - Antonio Borrielli
AU  - Francesco Marin
AU  - Gregory Pandraud
AU  - Antonio Pontin
AU  - Giovanni Andrea Prodi
AU  - Pasqualina M. Sarro
AU  - Michele Bonaldi
PY  - 2018
DO  - 10.1109/jmems.2018.2876593
UR  - https://arxiv.org/abs/1806.11513
ID  - 1806.11513
ER  -