TY  - RPRT
TI  - Data Efficient Lithography Modeling with Transfer Learning and Active Data Selection
AU  - Yibo Lin
AU  - Meng Li
AU  - Yuki Watanabe
AU  - Taiki Kimura
AU  - Tetsuaki Matsunawa
AU  - Shigeki Nojima
AU  - David Z. Pan
PY  - 2018
UR  - https://arxiv.org/abs/1807.03257
ID  - 1807.03257
ER  -