TY  - RPRT
TI  - Substrate surface engineering for high-quality silicon/aluminum superconducting resonators
AU  - C. T. Earnest
AU  - J. H. Béjanin
AU  - T. G. McConkey
AU  - E. A. Peters
AU  - A. Korinek
AU  - H. Yuan
AU  - M. Mariantoni
PY  - 2018
DO  - 10.1088/1361-6668/aae548
UR  - https://arxiv.org/abs/1807.08072
ID  - 1807.08072
ER  -