TY  - RPRT
TI  - Sacrificial Template Replication: Fabrication of arbitrary three-dimensional suspended hollow microstructures in transparent fused silica glass
AU  - Frederik Kotz
AU  - Patrick Risch
AU  - Karl Arnold
AU  - Alexander Quick
AU  - Michael Thiel
AU  - Andrei Hrynevich
AU  - Paul D. Dalton
AU  - Dorothea Helmer
AU  - Bastian E. Rapp
PY  - 2018
DO  - 10.1038/s41467-019-09497-z
UR  - https://arxiv.org/abs/1807.09054
ID  - 1807.09054
ER  -