TY  - RPRT
TI  - Atomic layer deposition of titanium nitride for quantum circuits
AU  - A. Shearrow
AU  - G. Koolstra
AU  - S. J. Whiteley
AU  - N. Earnest
AU  - P. S. Barry
AU  - F. J. Heremans
AU  - D. D. Awschalom
AU  - E. Shirokoff
AU  - D. I. Schuster
PY  - 2018
DO  - 10.1063/1.5053461
UR  - https://arxiv.org/abs/1808.06009
ID  - 1808.06009
ER  -