TY  - RPRT
TI  - Low temperature (Ts/Tm < 0.1) epitaxial growth of HfN/MgO(001) via reactive HiPIMS with metal-ion synchronized substrate bias
AU  - Michelle Marie S. Villamayor
AU  - Julien Keraudy
AU  - Tetsuhide Shimizu
AU  - Rommel Paulo B. Viloan
AU  - Robert Boyd
AU  - Daniel Lundin
AU  - J. E. Greene
AU  - Ivan Petrova
AU  - Ulf Helmersson
PY  - 2018
UR  - https://arxiv.org/abs/1808.10614
ID  - 1808.10614
ER  -