TY  - RPRT
TI  - Breaking the doping limit in silicon by deep impurities
AU  - Mao Wang
AU  - A. Debernardi
AU  - Y. Berencén
AU  - R. Heller
AU  - Chi Xu
AU  - Ye Yuan
AU  - Yufang Xie
AU  - R. Böttger
AU  - L. Rebohle
AU  - W. Skorupa
AU  - M. Helm
AU  - S. Prucnal
AU  - Shengqiang Zhou
PY  - 2018
DO  - 10.1103/physrevapplied.11.054039
UR  - https://arxiv.org/abs/1809.06055
ID  - 1809.06055
ER  -