TY - RPRT TI - Integrated optomechanical arrays of two high reflectivity SiN membranes AU - Claus Gärtner AU - João P. Moura AU - Wouter Haaxman AU - Richard A. Norte AU - Simon Gröblacher PY - 2018 DO - 10.1021/acs.nanolett.8b03240 UR - https://arxiv.org/abs/1809.06372 ID - 1809.06372 ER -