TY  - RPRT
TI  - Exploiting atomic layer deposition for fabricating sub-10 nm X-ray lenses
AU  - Benedikt Rösner
AU  - Frieder Koch
AU  - Florian Döring
AU  - Jeroen Bosgra
AU  - Vitaliy A. Guzenko
AU  - Eugenie Kirk
AU  - Markus Meyer
AU  - Joshua L. Ornelas
AU  - Rainer H. Fink
AU  - Stefan Stanescu
AU  - Sufal Swaraj
AU  - Rachid Belkhou
AU  - Benjamin Watts
AU  - Jörg Raabe
AU  - Christian David
PY  - 2018
DO  - 10.1016/j.mee.2018.01.033
UR  - https://arxiv.org/abs/1809.07251
ID  - 1809.07251
ER  -