TY  - RPRT
TI  - Multi-beam RF accelerators for ion implantation
AU  - Peter A. Seidl
AU  - Arun Persaud
AU  - Diego Di Domenico
AU  - Johan Andreasson
AU  - Qing Ji
AU  - Wei Liang
AU  - Di Ni
AU  - Daniel Oberson
AU  - Luke Raymond
AU  - Gregory Scharfstein
AU  - Alan M. M. Todd
AU  - Amit Lal
AU  - Thomas Schenkel
PY  - 2018
UR  - https://arxiv.org/abs/1809.08525
ID  - 1809.08525
ER  -