TY  - RPRT
TI  - Achieving short high-quality gate-all-around structures for horizontal nanowire field-effect transistors
AU  - J. G. Gluschke
AU  - J. Seidl
AU  - A. M. Burke
AU  - R. W. Lyttleton
AU  - D. J. Carrad
AU  - A. R. Ullah
AU  - S. Fahlvik Svensson
AU  - S. Lehmann
AU  - H. Linke
AU  - A. P. Micolich
PY  - 2018
DO  - 10.1088/1361-6528/aaf1e5
UR  - https://arxiv.org/abs/1810.03359
ID  - 1810.03359
ER  -