TY - RPRT TI - Towards wafer-scale diamond nano- and quantum technologies AU - Richard Nelz AU - Johannes Görlitz AU - Dennis Herrmann AU - Abdallah Slablab AU - Michel Challier AU - Mariusz Radtke AU - Martin Fischer AU - Stefan Gsell AU - Matthias Schreck AU - Christoph Becher AU - Elke Neu PY - 2018 UR - https://arxiv.org/abs/1810.09350 ID - 1810.09350 ER -